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区熔Φ5″单晶硅生长技术研究

2011年

应用技术

成果简介

　　该项目主要是在丹麦FZ-30炉上进行区熔Φ5″硅单晶工艺研究。FZ-30炉设计生产能力为Φ3″-Φ8″，但由于外国厂家对课题组实行技术封锁，生长大直径区熔单晶的核心技术和配套设备均不提供，因此为生产大直径的区熔硅单晶，只能进行自主研究。通过对炉体配件重新设计开发和工艺技术的研究探索，对科研技术方案的细节步骤逐个进行分析，排除所有会产生影响的因素，为每个改进细节确定具体参数，保障能够稳定生产区熔...

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