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多元氧化物电子薄膜材料的结构可控生长及性能研究

2011年 基础理论
  • 成果简介
　　本项目属于电子信息技术、材料科学的基础电子功能材料、理论和器件方向。本项目作为国家自然科学基金杰出青年科学基金项目，研究了多元氧化物电子薄膜材料的生长动力学机理与界面应力释放规律，揭示了生长行为与界面应力对薄膜微结构以及电性能的影响规律，提出通过合理选择薄膜和衬底的失配度来调整应力的影响，实现对界面应力的控制，有效地控制和改善了铁电薄膜、介电薄膜和热释电薄膜的微结构和性能。
　　本...
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