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甚高频等离子体源

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　中微公司产品在高频上采用了高难度的超高频60兆赫的频率。相比于目前国际市场上流行的27兆的射频频率，60兆赫的射频可以产生50﹪以上浓度的等离子体。这样，由于可以快速地产生高浓度等离子体，可以把反应速度增加，能够使单位时间产出量增加。
　　此外，中微公司刻蚀机产品创新性地在高频采用60MHz、在低频采用2MHz的双频技术，能够有效地控制反应离子能量和密度，使可以加工的芯片范围更为广...
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