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等离子体增强型化学气相沉积设备的开发

2011年

应用技术

初期阶段

成果简介

　　硅薄膜太阳能电池生产线上最关键的生产设备之一就是等离子体增强型化学气相沉积设备（PECVD）。理想能源设备（上海）有限公司设计的PECVD能首次实现独立多腔多片（3腔X 10片）的反应腔系统，大大提高产能。该系统不仅能够同时处理3个反应腔中30片的玻璃覆膜过程，平均每分钟加工1片薄膜电池，而且各腔又具有单腔独立运作的灵活性，允许各腔执行不同工艺，如分别沉积非晶或者微晶薄膜，可以进行真空下的工艺...

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