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高效能22英寸热系统优化设计

2011年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
1.保温材料的重新选择，通过对保温材料的抗氧化性、灰分及保温材料的热导系数指标的研究，利用科学计算及实验方法，开发设计出一套保温层宽度更小，保温效果更佳的新型保温装置。
2.石墨热场的重新设计。通过对加热器的发热区的设计改进，增大热系统中的纵向温度梯度，对导流罩的开口角度及深入尺寸研究开发，减小液面横向温度梯度，通过对热系统改进，使晶体生长速度增加并使氧含量得以减少。 ...
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