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真空阴极弧离子镀及DLC超硬薄膜制备技术

2010年

应用技术

成果简介

本系统引入高压脉冲辉光放电技术，将真空阴极弧和中频磁控溅射等多种镀膜技术相结合，可研究开发单层及多层功能膜，如硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜、碳膜、铁磁膜和磁性薄膜等新型薄膜材料。TiN、TiC、TiCN、TiAlN等硬质薄膜已经在工具、模具、装饰等行业得到日益广泛的应用，类金刚石碳（DLC）膜是一种光滑致密、高硬度、高电阻率、高导热率、良好的红外透过性、高化学稳定性、低摩擦系数高耐磨性...

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