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高性能薄膜压力传感器

2008年 应用技术
  • 成果简介
该项目是以北京国浩微磁电子智能传感器技术研究所为主导,清华大学、北京科技大学、中国人民公安大学参与研究的国家863计划项目。产品采用低能加速器轰击动能转换搬迁原子淀积薄膜技术,将纳米薄膜应变电阻直接制作在金属弹性体上,实现了敏感元件与弹性体的原子结合,解决了传统传感器因敏感元件与弹性体之间受力滑动产生的零点漂移而导致的不稳定、不可靠的问题,真正实现了在高温、高压、恶劣环境下的长期稳定性和高...
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