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多层功能薄膜

2009年

应用技术

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在ZAO-ITO-ZAO实际成膜过程中要避免完全化学配比的In2O3和过于缺氧的InO，但要精确控制铟氧的原子比是很不现实的，通常的做法是控制通过实验获得的工艺参数，不可能直接观察实时监控成膜性能，我们创造的微欠氧控制法可以直接观察成膜性能，实现了计算机实时监控，工艺重复性极好，对获得高品质、稳定生产ITO膜具有重大意义。特别是我们提出的ZAO-ITO-ZAO膜系组合，其性能独具一格，热稳...

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