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聚焦离子束技术在微光学中的若干基础关键问题研究

2009年 基础理论
  • 成果简介
　　聚焦离子束工作原理于上世纪八十年被提出，将其用作微纳加工手段始创于九十年代初，由于当时正值半导体微电子行业蓬勃发展的时期，所以当时的机器发明人自然首先想到将其应用到半导体和微电子行业，因而先后出现了基于聚焦离子束技术的集成电路改进、半导体芯片的故障诊断、掩膜修补等专项应用。以至于最初的商业化聚焦离子束设备都是为半导体和微电子行业的这些应用而设计的。推荐者自九十年代中期从事微光学研究，2004年...
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