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面阵CCD高精度测量技术

2001年

应用技术

中期阶段

成果简介

　　面阵CCD高精度测量技术的研究成果将于2000年12月安装于广东潮州三环集团公司的基片机器人自动分类中，用于基片的生产分类作业中。它是该系统的核心关键技术，第一台基片机器人自动分类系统样机试制成功后，还将再制造3-5套基片机器人自动分类系统。分类系统的应用将提高基片的售价一倍，大大增加基片的附加价值，为提供研究经费的厂家创造明显的经济效益。
　　面阵CCD高精度测量技术是一项高新技...

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