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SiCPIN紫外光电探测器

2009年

应用技术

成果简介

紫外光电探测器在国防、紫外天文学、环境监测、火灾探测、涡轮引擎燃烧效率监测、可燃气体成分分析和生物细胞癌变检测等方面有着广阔的前景，具有极高的军事和民用价值。采用4H-SiC半导体材料制备的紫外光电探测器，具有优良的可见光盲、漏电低、灵敏度高的特性，其探测波长范围在200-380nm，响应度约130mA/W，结电容约10fP，探测器采用TO46金属管平面光窗封装。本项目已完成全部工艺研究，...

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