首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

一种制备大面积铁电薄膜的方法

2008年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明涉及一种制备均匀大面积铁电薄膜的方法，属于铁电薄膜制备领域。其特征在于采用化学匀胶成膜的方法制备铁电薄膜。关键是改进了匀胶台吸盘的气路槽和优化工艺参数。设计的气路槽宽减小至0.8-1.5mm，槽深减至0.5-0.8mm，增加了槽的数量由圆环状改为发射状，且工艺参数优化，与原来较深的圆槽相比，匀胶后的膜颜色均匀，没有衍射环，所制备的4英寸PZT铁电薄膜厚度均匀性和性能均匀性偏差分别为2...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统