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多功能硅微机械陀螺

2008年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
众所周知，目前国内外的微机械陀螺都有驱动结构，故结构复杂，成本高。课题组提出利用载体自身的旋转代替一般陀螺由驱动结构产生的驱动力，研制无驱动结构的多功能微机械陀螺。根据振动陀螺动力学参数，设计了原理结构，并通过实验验证，结果表明，理论和实验相一致。在理论计算和仿真试验基础上，课题组开展了系统深入的基础研究和应用基础研究，并进行了硅摆芯片微机械加工、封装、冲击试验和综合性能测试。2007年国...
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