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非线性热导方程反问题的数值解法及其应用研究

2002年 应用技术
  • 成果简介
本项目以无损检测半导体中掺杂浓度为背景，建立了一维、二维线性和非线性热传导方程反问题及其可行（可测）的定解条件，构造了稳定、快速的局部步进数值解法；用可测的反映材料内部热特性的表面光热信号，反演计算出材料的热导率分布（或光吸收系数分布）；模拟数值反演计算结果表明，我们的处理方法是切实可行的。进而可以据热导率和掺杂浓度的关系，得到半导体中掺杂浓度的分布。同时，我们还研究了波在样品中传播的一些...
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