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微波近场扫描显微镜及其应用

2002年 应用技术
  • 成果简介
设计并建立了国内第一台微波近场显微镜。可以工作在80-300K,空间分辨率达到微米量级,与国际上最好水平相当。采用有限差分和有限元方法分析了微波近场显微镜,建立了微波近场显微镜成像理论。利用微波近场显微镜系统对介质、铁电、半导体、金属及超导材料薄膜和器件的微波性能进行了深入地研究,建立了材料微波介电常数、介质损耗和表面电阻空间分布的清晰图像,许多研究结果属国际上首次报道。微波近场显微镜的建...
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