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基板承载装置

2006年 应用技术
  • 成果简介
本发明涉及一种基板承载装置。该基板承载装置包括：一个基板支座和多个夹持模组。该基板支座上具有多个第一通孔，该夹持模组包括一个主体部，至少一个夹持指杆，一个固持件，至少一个导向杆，至少一个第一弹性组件及一个激励件。该夹持指杆的一端设置于该主体部内，另一端穿设于上述第一通孔。该固持件固定在该基板支座上，该导向杆设置于该固持件与主体部之间，其一端与该固持件相连，另一端穿设于该主体部的导向通孔中。...
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