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宽幅激光干涉光刻直写设备与应用

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　这是一项代表我国激光超微细加工领域最好水平的干涉激光图形加工系统。应用领域：
　　1、 精密激光图形加工（Super-Precision Laser Lithography）
　　2、 显示用衍射光导器件
　　3、 激光衍射图像
　　4、 精密电路掩模
　　5、200nm以上纳米点阵结构光刻
　　性能指标：
　...
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