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精密运动机构结构动力学与控制

2007年 基础理论
  • 成果简介
　　精密运动机构结构主要应用于高端IC光刻机、IC引线键合机、精密测量装置、分子生物实验精密操作台等重要装备，某些重大装备（如高端IC光刻机）由于其复杂的机构结构、非线性的多场耦合以及超高运动精度，挑战现有的制造技术极限，这类极端状况下重大装备中的非线性振动与控制是大家公认的关键科学难题，而其中复杂机电耦合系统的多变量、非线性、强耦合参数化建模与动态特性仿真是目前国际上的研究热点和难点之一。
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