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新型氧化锌半导体薄膜的制备科学及其光电性能控制方法研究

2007年

基础理论

成果简介

　　该项目是上海市科委重点基础研究计划，主要创新结果如下：
　　1、研制出脉冲激光沉积－超声喷雾热分解方法联用制备薄膜的新装置，可以实现两种方法交替原位生长高质量薄膜。并得到了高质量的ZnO薄膜的最佳生长工艺。
　　2、研究了籽晶层晶体质量、表面形貌和厚度的控制方法，分析了籽晶层对超声喷雾热分解方法生长薄膜的诱导机制，成功制备出高度C轴取向的ZnO薄膜。
　　3...

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