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氧化锌基薄膜材料载流子传输机制及光电器件研究

2007年

应用技术

初期阶段

成果简介

该项目是上海市科委光科技行动计划，主要创新结果如下：
1、开发出“脉冲激光沉积”、“超声喷雾热分解”两种方法相结合装备高质量ZnO半导体薄膜新技术，通过预制籽晶层和优化生长条件及后处理工艺，得到了高质量ZnO半导体薄膜的最佳生长工艺。
2、深入探讨了ZnO薄膜中元素氮单掺杂、氮－铝（铟）共掺杂的掺杂机理，提出了多晶薄膜的界面掺杂机制，解释了ZnO薄膜...

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