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一种宽带光源的无色差频移及外差干涉信号产生装置

2007年 应用技术
  • 成果简介
专利号:ZL03104769.6
  本发明涉及一种宽带光源的无色差频移及外差干涉信号产生装置,属于在线高速和高精度测量技术领域。该装置含有用于产生宽带光的光源,被宽带光沿垂直栅线方向扫描且用于产生调制信号的光栅和用于补偿色差且与光栅平行静止放置及与光栅的参数相同的光栅,用于使沿原路返回来的光栅的衍射光通过设置在宽带光输入光路上的分光镜产生外差干涉信号的平面反射镜。利用本发明的宽带...
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