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阵列式集成电路光刻系统中的精密工作台结构

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　专利号：ZL02117420.2
　　阵列式集成电路光刻系统中的精密工作台结构，属于集成电路的微细工程制造领域。其特征在于，它含有：微动转台，与该转台同轴连接的转台底座，固定在该底座上的转台推动架，与该转台相连且X、Y向各贴有平面镜的X向往复运动小工作台，以导轨气垫支撑该X向小工作台的X向空气静压导轨，与该X向导轨相连的Y向运动工作台，以导轨气垫支撑 Y 向运动工作台的Y向空气静...
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