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CXS系列旋转冲洗甩干机

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　我所“9711”工程攻关项目之一，用于IC生产线硅圆片、掩模板、太阳能电池等其它类似材料的高洁净度冲洗甩干。具有单腔、双腔两种结构（（也可按用户要求配置））。
　主要技术特点：
　　采用高性能可编程控制器实现逻辑控制。
　　采用彩色液晶汉显监控，可存储百种用户工艺菜单。
　　结构采用净化处理技术。
　　去离子水电阻率监控。
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