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磁过滤阴极真空弧等离子体沉积技术

2007年 应用技术
  • 成果简介
　　阴极真空弧技术已广泛应用于工具镀和装饰镀。但是该技术产生的金属等离子体中有大量的液滴，即尺寸为零点几到10微米的中性颗粒，严重地影响薄膜的质量。磁过滤阴极真空弧等离子体沉积技术能过滤掉等离子体中的颗粒，形成高质量的膜层。我所研制的用于批量加工的磁过滤阴极弧离子镀膜机主要性能指标如下：
　　磁过滤管道内径：φ180mm
　　阴极尺寸：φ60～φ100mm
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