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MEVVA离子注入机

2007年

应用技术

成果简介

　　MEVVA离子注入机是新一代离子注入材料表面改性的设备。MEVVA离子注入机采用我所研制的MEVVA离子源专利产品，获得国家重点新产品证书。该机可产生各种金属离子束、碳离子束和各种导电化合物的离子束，束流强、电荷态高、纯度高、束斑大。主机由MEVVA源和靶室组成，结构简单、紧凑、效率高、成本低、工作稳定、可靠。
多年来我所在MEVVA离子注入系列设备及配套设备的研发、设计及...

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