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功能薄膜材料的制备、结构与性能

2007年 应用技术
  • 成果简介
该项目属于材料学科中功能薄膜材料领域，研究内容主要集中在功能薄膜材料的制备、构与性能以及应用方面。
1、AIN薄膜制备、结构与表声波性质
采用自行设计的570型磁控溅射沉积系统，在Si等基片上成功地制备出了高质量的薄膜。研究了反应溅射的现象和状态；弄清了薄膜的择优取向机理，建立了择优取向程度实验参数之间的函数关系：分析了薄膜的组成；确立了薄膜表面粗糙...
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