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集成铁电超声微接收器

2005年

应用技术

成果简介

该项目由国家高技术研究发展计划(863计划)资助，采用微机电(缩写为MEMS)制造技术加工制作超声微接收器，具有体积小、重量轻、封装方案灵活、重复性好、能批量生产、抗振性好、易与IC集成，批量生产成本低廉等优点。所谓MEMS是微电子技术的拓宽和延伸，它是将微电子技术和精密机械加工技术相互融合，并将微电子与机械融为一体的系统。集成铁电超声微接收器利用微电子技术，将压电薄膜材料锆钛酸铅(PZT)或氮化...

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