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钛酸锶钡薄膜材料的制备方法

2003年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本发明提供了一种钛酸锶钡薄膜材料的制备方法，其过程是：将醋酸钡、醋酸锶、醋酸丁酯、醋酸和乙酰丙酮以一定的摩尔比相混合配制稳定的前驱体溶液，然后在Pt/Ti/SiO2/Si基片上进行匀胶、热处理，在热处理过程中同时对薄膜施加辅助电场，重复上述过程，直到理想的厚度为止。
　　本发明通过将每层凝胶膜热处理后的厚度控制在8到20纳米，实现异质成核、同质外延生长，从而形成大尺寸柱状晶粒的薄膜...
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