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新型集成光路结构光谱仪及其集成光路组件的制备方法

2004年 应用技术
  • 成果简介
该发明属于新型集成光路结构光谱仪及其集成光路组件的制备方法。该发明由光源、透镜、信号处理、硅基片、样品窗口、光波导薄膜、棱镜和光波导衬底组成，该发明采用的制备方法将棱镜制备于光波导薄膜下表面，用棱镜－光波导结构取代光栅－光波导结构，提高了耦合效率和色散能力；造价低、应用范围大；杂散光干扰少，光谱分辨率高；该发明是一种小型化、集成化、便于携带和高灵敏度的光谱仪。...
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