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高精度位置敏感探测器(PSD)与微型彩色CMOS的应用开发

2002年

应用技术

成果简介

位置敏感探测器(PSD)是一种光电子器件，它能测量入射光斑或粒子位置坐标，具有分辨率高，响应速度快、信号处理电路简单等优点，适用于位置、距离、位移、角度等其它物理量的精密测量。现已能批量生产梳状结构一维PSD（1mm×8mm）和四边形结构二维PS（3mm×3mm）年产2万个器件。梳状结构一维PSD发属国内首创，暗电流、线性度达到国际先进水平，现已替代进口CCD芯片应用于批量生产的糖度计中，由于价格...

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