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化学气相沉积金刚石膜的工业应用-大面积无衬底自支撑金钢石厚膜的制备技术

2004年 应用技术
  • 成果简介
该项目为北京科技大学与河北省科学院合作研究开发项目，是国家“863”高技术研究与发展计划“85”和“95”重大项目的阶段性研究成果。该技术包含“大面积高功率DC Arc Plasma Jet CVD金刚石膜高速沉积设备”和“大面积无衬底自支撑金刚石厚膜制备工艺”两部分，均已基本成熟，设备和工艺已在广东、北京和天津的一些工厂和研究院所应用。该项目所研究开发的高功率DC Arc Plasma Jet ...
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