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紫敏高效光电探测器

2003年

应用技术

成果简介

紫敏高效光电探测器二极管是一种硅材料半导体器件，它是由PN结的P区N区和两区之间的I本征层所组成。因此，它也叫PIN光电二极管，属于半导本光电子器件。器件材料是高纯单晶片，在工艺中把一定计量的硼杂质注入硅片，经退火形成硼浅结的P区。硅片背面注磷，形成N区和欧姆接触。P区N区之间的高纯硅材料就是I本征层。由于有这种结构，严格控制工艺参数，可使它的反向击穿高，暗电流小，结电容小，响应速度快，加之浅结其...

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