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氮气保护生长的直拉硅单晶、硅片及其制造技术

1993年 应用技术
  • 成果简介
该技术特征是以纯氮作为保护气氛生长直拉硅单晶。用氮代氩可以降低直拉硅单晶的成本，有利于制备低碳硅单晶。用该技术制备的直拉硅单晶中掺有适当浓度的氮，由此具有掺氮硅单晶的一系列优良性能。微氮单晶硅片用于生产大功率、高反压分立器件和集成电路。合作方式：开发国内外市场；合资经营。...
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