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计量型原子力显微镜纳米测量系统

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
简要技术说明：
　　计量型原子力显微镜主要由扫描器、测针位置传感器和三维微型激光干涉仪以及机座构成，属于被测物移动型AFM（scanning sample AFM），仪器的主要技术指标为：测量范围：x方向70mm；y方向15mm；z方向：7mm；测量分辨率：x方向约1.2nm；y方向约0.25nm、z方向约0.12nm。原子力显微镜的计量化是由一体化三维激光干涉系统实现的。它由三台微型...
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