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C_3N_4/TIN(SI_3N_4)超硬多层膜的制备及表征

2001年

应用技术

成果简介

该研究率先采用氮离子束直接溅射石墨靶的方法制备出含有多种C_3N_4相的CN薄膜，并于硬质合金刀表面沉积了硬度达35GPa的CNx/TiNy多层硬质涂层。应用TEM、SAED、XRD、XPS、EDX等多种现代分析手段对CNx/TiNy双层膜、三层膜和多层膜进行了晶体形貌观察、晶体结构、价键结构和成分的系统分析，取得了丰富可靠的实验数据，为进一步合成大面积CN化合物薄膜奠定了坚实的基础。该成果达国际...

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