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大尺寸p-Si TFT-OLED技术的研究

2005年

应用技术

成果简介

本项目研制了p-Si TFT（多晶硅薄膜晶体管）驱动的OLED（有机电致发光）原型样机。在本项目实施过程中，综合利用了彩晶公司生产线设备和北方液晶工程中心的实验室设备，其中p-Si材料制备和离子注入工艺在北方中心的实验室完成。由于大量采用了生产技术和设备，与纯实验室技术相比，更易于产业化，在完成样机试制的同时，开展了大量的低温p-Si材料制备技术的基础研究工作，如直接低温沉积p-Si技术、...

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