首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

DC450型金刚石膜沉积设备

2005年 应用技术
  • 成果简介
一、项目简介
主要由沉积室、直流电源、样品转台、真空获得及测量系统、电控系统、气路系统等组成。
主要技术性能指标：
1、极限真空：优于5Pa；
2、真空室尺寸(1)450×450(mm)为圆筒形立式双层水冷全不锈钢结构；
3、基片尺寸、数量：最大φ50mm、一块；
4、电...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统