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GPS用1575MHZ片式声表面波滤波器

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
产品采用阻抗元结构（IEF）设计和多级级联方法，使设计的产品具有低插入损耗、高带外抵制和良好的过滤杂频信号等功能。项目主要解决了0.6um线条且保证线条边缘整齐陡直的光刻工艺，其中着重解决步进光刻1:5的工艺技术和剥离法工艺技术；在粘片工艺中采用阶梯升温加热烘烤方法，保证升温速率恒定，有效避免热释电效应引起的器件损毁；在后道工艺上主要解决小型SMD型声表面波滤波器的封装，特别是自动测试技术...
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