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光电集成加速度地震检波器

2005年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本发明公开了一种光电集成加速度地震检波器，属于加速度及地震波检测装置。在金属壳体内设置光电集成加速度地震检波器芯片和激光器，其特征在于：芯片是由硅基底，其上覆盖二氧化硅缓冲层及集成于硅基底上的光波导偏振器、M-Z波导干涉仪、声光指状换能器、光电探测器、光电探测器、温度补偿和解调及信号处理电路组成，在硅基底上蚀刻出十字梁支撑的硅质量块构成简谐振子。其特征在于M-Z波导干涉仪的输入端与激光器相...
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