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砷烷/磷烷监测报警仪

1993年 应用技术
  • 成果简介
本仪器主要用于高科技项目MOCVD工艺装置中AsH_3/PH_3等气体氢化物的监测报警。它采用火焰光度原理进行工作，检测浓度为砷烷≤0.05ppm，磷烷≤0.3ppm，响应时间＜30s，零点漂移不大于满量程的±1%，重现性误差不大于1.2%。
该仪器与常规的色谱火焰检测器相比，采用独特的进气方式，即样品气和空气按一定比例均匀混合后，从检测器空气侧导入燃烧室喷嘴，H_2和...
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