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0.3微米100级（0．5微米10级）洁净隧道

1993年 应用技术
  • 成果简介
该洁净隧道是根据工艺布置流程特点，分成工艺区和非工艺区，相应设置层流区和非层流区。在层流区设置层流罩并联成带形，在非层流区设置高效送风单元，分别送风形成层流区和乱流区，其空气温、湿度由空调器调节。该隧道的技术指标，如洁净度、温度、湿度和噪声等达到美、日等国80年代中期水平，但价格比国外低几倍。该隧道可用于电子工业、制药工业、食品工业、化工、精密机械和科研等领域，可提供无尘无菌的洁净环境。...
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