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高功率激光二极管条的微通道冷却封装组件

2006年 应用技术
  • 成果简介
硅微沟道是指用各向异性腐蚀方法在硅衬底上刻出的数百条平行深沟，沟道深140～μm，宽25μm，间距50μm，长1400μm。硅微沟道冷却封装组件是用二个刻有微沟道的硅片(13×13mm)夹一光学玻璃片，用我们的发明专利(98 1024664.5，证书号105047)公布的方法粘结起来的。激光二极管线阵焊结在微沟道背面，可连续发射大功率激光。
推广形式：技术转让；合作开发...
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