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钛酸铋铁电薄膜的制备方法

2001年 应用技术
  • 成果简介
采用常压有机化学汽相沉积工艺将钛源和铋源加热挥发，用“氮气为载汽携带挥发钛源和铋源通入生长室内，生长室内放有衬底，在常压加热情况下，在衬底上制得薄膜，该方法工艺简单，方便，薄膜生长周期短，制得的薄膜均匀，致密，无微裂，且铁电性能及电光性能良好，可用于制作铁电存储器和电光器件及铁电超导复合器件。常压有机化学汽相沉积工艺(APMOCVD)是最适合于工业化大规模生产的技术。钛酸铋铁电薄膜可用于制...
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