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SOI高温压力传感器

2006年

应用技术

成果简介

传感器的工作温度：-65℃～250℃，最小量程：0～300mm水柱，最大量程：0～100MPa，精度：0.2%。具有体积小、工作温度宽、抗沾污能力强、长期稳定性好等特点。传感器制造工艺与半导体工艺兼容，制造成本低，适于大批量生产。
项目用途：SOI高温压力传感器高性能、低成本，可在市场中得到广泛的应用，是单晶硅压力传感器的换代产品，可用于汽车、家电、工业控制以及国防工程...

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