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旋转抛磨式准分子激光微细加工方法及系统

2006年 应用技术
  • 成果简介
旋转抛磨式准分子激光微细加工方法及系统主要涉及微型轴对称零部件的加工。本发明首先将被加工工件通过准轴调节装置、旋转工作台固定在位移工作台上；然后调整工件的旋转轴线与旋转工作台的旋转轴线重合；启动准分子激光器使激光束依次经过反射镜、反射镜、反射镜、聚焦物镜后聚焦在与工件所需加工处的旋转半径相切处；通过计算机转动旋转工作台并移动位移工作台，使工件上所需去除材料依次经过激光束的聚焦点后被刻蚀掉。...
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