首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积方法及装置

2006年 应用技术
  • 成果简介
热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积方法及装置，属微波低温等离子体领域。本发明方法包括利用电子回旋共振系统中的微波源、磁场线圈在谐振腔内产生电子回旋共振的等离子体，特征在于，在谐振腔出口与沉积室的样片台之间，增加对等离子体产生热辐射的热丝单元，促使等离子体中的气体更充分分解，且热丝环位于等离子体之外，不会阻碍薄膜沉积。装置特征：在谐振腔10出口与沉积室11内的样片台12之间设置促使气体充分...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统