首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

准分子激光微细加工用的投影成像物镜

2006年 应用技术
  • 成果简介
一种准分子激光微细加工用的投影成像物镜属于激光微加工及其应用技术领域。其特征在于由在镜座中按顺次方式共轴排列的3片球形石英透镜，其中第一片为取向不可逆的负透镜1，紧接依次排列的第二片正透镜2及取向不可逆的正透镜3。特征还在于采用了双面曲率为正的负透镜1，双面曲率左正右负的正透镜2，双面曲率为正的正透镜3。本实用新型的分辨率为2um，专门用于准分子激光波长区域（248nm），具有高的成像质量...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统