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硅谐振微传感器频率特性测试仪

2006年 应用技术
  • 成果简介
研制硅谐振压力微传感器，首先要解决的关键问题，是其动力学特性测试，由于是微传感器，其输出信号微弱，谐振频率在音频之上，无法按常规谐振传感器的测试方法进行。必须解决微伏或亚微伏量级的弱信号检测与处理的测量技术，这是研制微传感器普遍存在的问题。
测试仪主要由：激励回路，检测回路和数据处理、显示三个主要部分组成。采用直接数字合成技术，恒流源并结合相关检测原理的特色技术，从技术...
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