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微构件材料力学行为及微机粘附问题研究

2004年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
本项目来源于江苏省自然科学研究计划项目（BK2002147）、江苏大学微/纳米科学技术研究中心开放基金项目、江苏大学高级人才启动基金项目和国家自然科学基金重点项目《微机电系统中的关键机械学问题》（50135040）子项。
本项目根据提出的纳米压入弯曲法和微拉伸法，得到微型机械构件的力学参量和对这些参量影响的表面效应、尺寸效应、多域场力—电耦合效应，提示微型机械制造和运行...
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