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红外微光机电技术研究（中科院）

2004年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
　　本项目研究目标：在国内现有工艺条件下，研制出具有高吸热能力的探测器微桥结构（8～12微米的吸收率达到80%），研制出与非致冷焦平面配套的读出电路结构，实现读出电路与微桥探测器的单片工艺集成。项目的研究内容及其关键技术：
　　（1）桥结构与探测器红外吸收率的研究，重点解决微桥探测器吸热结构的设计和工艺加工等关键技术；
　　（2）非致冷焦平面读出技术研究，重点解决硅桥式非致...
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